热重分析质谱仪可以检测到非常低含量的杂质，这一手段越来越受欢迎。通过热重加热样品，样品会因挥发物的存在或者燃烧分解出气体，这些气体被传输到质谱仪中，加以识别。 由于质谱可以检测材料非常低的含量，TG-MS联用成为质量控制、产品安全和产品开发一个强有力的手段。热重分析质谱仪是将热重分析耦合到Hiden质谱仪上的一整套接口系统。能够充分利用进样毛细管快速响应和低死体积的优点，配合上受欢迎的TGA设备。
热重分析质谱仪可测试样品在不同温度下挥发或断链气化的重量损失，所以可以定量在不同温度下，得到裂解成分比例的讯息，但对于是那一种物质的定性特性则无法得知，此时需要借重其他定性设备的能力才能得知特定温度裂解的物质结构，例如藉由联结Mass质谱仪的分子量测试得知物质种类TG-Mass (热重-质谱仪)。
热重分析质谱仪使用环境要求:
①周围无强烈震荡源及电磁感应装置 ;
②电源要求接地交流电 ;
③室温要求15～28℃ ;
④相对湿度要求20%～80%。
热重质谱分析系统配置:
1. 温度范围：20℃-1000℃
2. 升温与降温速率：0-100 K/min
3. 冷却时间：10min
4. 称重范围：2000 mg
5. 测量气氛：二氯甲烷、水、乙醇和丙酮。
6. 质量流量计
7. 真空密闭结构，真空度可达 10-2 mbar
热重分析质谱仪采用新设计的接口和离子光学系统，实现了高灵敏度、高稳定性。具有多顺序测定方式，一次进样可测得多种分析条件下的数据，全面支持光电二极管阵列检测器，是别的LC/MS。热重分析质谱仪主要测试样品的重量或者重量百分比随着温度的升高、降低或等温过程的连续变化情况。通常而言，这类测试都会在一定的动态气体氛围中进行，比如高纯氮气或者高纯氧气等环境中。
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