基本型等离子清洗机采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。等离子表面处理机外接一台真空泵，工作时清洗腔中的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，短时间的清洗就可以使有机污染物被*地清洗掉，同时污染物被真空泵抽走，其清洗程度达到分子级。

Harrick高功率扩展型等离子清洗机是一款多功能的工具，适用于刻蚀有机薄膜（10--100nm）以及表面活化改性。

高功率等离子清洗机除了具有超清洗功能外，在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能。等离子体作用于材料表面，使表面分子的化学键发生重组，形成新的表面特性。对某些有特殊用途的材料，在超清洗过程中等离子清洗器的辉光放电不但加强了这些材料的粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。

Harrick Plasma 等离子清洗机真空泵具有悠久历史的专业光学光谱仪器的设计和制造。自1969开始，Harrick Plasma ，行业享有盛名。该公司的创始人N. J. Harrick博士，开创了内反射光谱和成为该技术的主要开发者。 $nHarrick Plasma 研发了三十多年前的*台台式研究等离子体器件。现在Harrick Plasma 仪器在许多研究实验室是广泛应用。

气体流量混合器可用于任何与等离子清洗机模型结合，有利于气体混合，气体的流量和真空压力监测更精确的定量控制。