热重分析质谱仪(TGA-MS)是一种结合了热重分析和质谱技术的分析仪器，可用于定量分析样品随着温度变化而发生的重量变化和气体释放情况，同时确定气体成分。主要由两部分组成：热重分析仪和质谱仪。在TGA中，样品在加热过程中会发生物理或化学变化，...

微波等离子去胶机是在(RIE)反应离子刻蚀机的基础上简化改进而来，为小型等离子去胶机，具有体积小，性能优良、用途多、工艺速率高、均匀性及重复性好、价格低、使用方便等特点。是各电子器件企业及科研单位、大专院校的机型。适合于微电子制作工艺中光刻...

等离子清洗机真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到...

PDC-002等离子清洗机由等离子发生器、输气管道、等离子喷嘴等部件组成。等离子体发生器产生的高压高频能量在喷嘴钢管内被激活和控制的辉光放电中产生低温等离子体。等离子体通过压缩空气喷射到工件表面。当等离子体遇到待处理物体的表面时，物体会发生...

热重分析质谱仪是指在程序控制温度下测量待测样品的质量与温度变化关系的一种热分析技术，用来研究材料的热稳定性和组份。热重分析在研发和质量控制方面都是比较常用的检测手段，在实际的材料分析中经常与其他分析方法连用，进行综合热分析，全面准确分析材料...

气体流量混合器由压力传感器、电磁阀组、气体混合简和贮气简等组成，混合器操作是，先在微机控制器设定2-3中气体混合的比例值和混合简与贮气筒的真空值。按下自动操作按钮后，首先启动真空泵抽出简内空气，达到设定真空值后即开始自动气体比例混合的程序操...

PECVD法生长氮化硅薄膜是利用非平衡等离子体的特性，即等离子体分子、原子、离子或激活基团与周围环境相同，而其中非平衡电子由于电子质量很小，其平均温度可以比其他粒子大一二个数量级，所以通常条件下，要高温(300℃-450℃)才能实现许多反应...

质谱法(massspectrometry)常称为质谱(MS)，是一种利用质量分析方法进行鉴定物质结构的仪器分析方法。质谱分析法是通过对被测样品离子的质荷比的测定来进行分析的一种分析方法。被分析的样品首先要离子化，然后利用不同离子在电场或磁场...

Harrick等离子清洗机是一种全新的高科技技术，利用等离子来达到传统清洗方法无法达到的效果。等离子体是一种物质状态，也称为第四种物质状态。向气体施加足够的能量使其电离，使其变成等离子体状态。等离子体的“活性”成分包...

微波等离子去胶机是在（RIE）反应离子刻蚀机的基础上简化改进而来，为小型等离子去胶机，具有体积小，性能优良、用途多、工艺速率高、均匀性及重复性好、价格低、使用方便等特点。是各电子器件企业及科研单位、大专院校的机型。适合于微电子制作工艺中光刻...