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光学元件原子级抛光镀膜设备:NANO-MASTER 离子束清洗抛光-磁控溅射镀膜系统提供*进的技术,在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光,然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆,整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用,同时具备各自的自动上/下载片功能。
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