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  • NLD-3000原子层沉积系统
    NLD-3000原子层沉积系统

    NLD-3000原子层沉积系统:ALD原子层沉积可以满足精确膜厚控制以及高深宽比结构的保形沉积,这方面ALD原子层沉积远超过其它沉积技术。由于前驱体流量的随意性不会带来影响,所以在ALD原子层沉积中有序、自限制的表面反应将会带来非统计的沉积。这使得ALD原子层沉积膜保持高度的光滑、连续以及无孔的特性,可以提供的薄膜性能。ALD原子层工艺也可以实现到大基片上。

    更新时间:2023-02-17型号:浏览量:1109
  • NLD-4000(ICPA)全自动PEALD系统
    NLD-4000(ICPA)全自动PEALD系统

    NLD-4000(ICPA)全自动PEALD系统:ALD原子层沉积可以满足精确膜厚控制以及高深宽比结构的保形沉积,这方面ALD原子层沉积远超过其它沉积技术。由于前驱体流量的随意性不会带来影响,所以在ALD原子层沉积中有序、自限制的表面反应将会带来非统计的沉积。这使得ALD原子层沉积膜保持高度的光滑、连续以及无孔的特性,可以提供的薄膜性能。ALD原子层工艺也可以实现到大基片上。

    更新时间:2017-03-03型号:浏览量:913
  • NLD-4000NLD-4000(ICPM)PEALD系统
    NLD-4000NLD-4000(ICPM)PEALD系统

    NLD-4000NLD-4000(ICPM)PEALD系统:ALD原子层沉积可以满足精确膜厚控制以及高深宽比结构的保形沉积,这方面ALD原子层沉积远超过其它沉积技术。由于前驱体流量的随意性不会带来影响,所以在ALD原子层沉积中有序、自限制的表面反应将会带来非统计的沉积。这使得ALD原子层沉积膜保持高度的光滑、连续以及无孔的特性,可以提供的薄膜性能。ALD原子层工艺也可以实现到大基片上。

    更新时间:2017-03-03型号:浏览量:801
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