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    AT-410原子层沉积系统

    AT-400原子层沉积系统高纵横比沉积,具有良好的共形性;曝光控制,用于在 3D 结构上实现所需的共形性;预置有经验证过的 3D 和 2D 沉积的优化配方;简单便捷的系统维护及安全联锁;目前市面上占地小,可兼容各类洁净室要求的系统;

    更新时间:2023-02-17型号:AT-410浏览量:1290
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