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NTE-3500Thermal Evaporator热蒸发系统:提供NTE-4000和NTE-3000型号的PC计算机控制的热蒸发系统,可沉积有机物和金属。设备具有小占地面积、干净、均匀、可控及可重复的工艺过程、低价格, 高性能以及高能力的特点。可以在设定的RMS电流下,或者在闭环的配置下操作,并且在这种情况下沉积速度的变化被用于调节RMS电流以维持恒定的沉积速度。
NEE-4000E-Beam电子束蒸发系统: NEE-4000电子束蒸发系统为双腔体的配置,其中样品台位于主腔体内,二级腔体则用于安置电子束源。两腔体之间带有门阀作为预真空锁,使电子束源腔体保持真空的情况下,通过主腔体放入基片到样平台(或夹具)上或从中取出。在需要自动装/卸载基片时,可以通过第三方的预真空锁来实现。通过PC计算机控制,系统可以提供多电子束源的共蒸发能力,以及对组分或组分梯度进行编程
NTE-3500(M)热蒸发系统:NTE-3500是PC控制的紧凑型立式热蒸发系统,在有机物和金属沉积方面具有广泛的应用。设备具有占地面积小、干净、均匀、可控及可重复的工艺特点。具有低价格, 高性能以及高能力的特点,可满足于客户研发及小规模生产的应用要求,该系统可以在设定的RMS电流下,或者在闭环的配置下操作,并且在这种情况下沉积速度的变化被用于调节RMS电流以维持恒定的沉积速度。
NTE-3500(A)全自动热蒸发系统:全自动立式热蒸发系统,在有机物和金属沉积方面具有广泛的应用。设备具有占地面积小、干净、均匀、可控及可重复的工艺特点。具有低价格, 高性能以及高能力的特点,可满足于客户研发及小规模生产的应用要求,该系统可以在设定的RMS电流下,或者在闭环的配置下操作,并且在这种情况下沉积速度的变化被用于调节RMS电流以维持恒定的沉积速度。
NTE-4000(M)热蒸发系统:NTE-4000是PC控制的立式热蒸发系统,在有机物和金属沉积方面具有广泛的应用。设备具有占地面积小、干净、均匀、可控及可重复的工艺特点。具有低价格, 高性能以及高能力的特点,可满足于客户研发及小规模生产的应用要求,该系统可以在设定的RMS电流下,或者在闭环的配置下操作,并且在这种情况下沉积速度的变化被用于调节RMS电流以维持恒定的沉积速度。