NTE-3500Thermal Evaporator热蒸发系统
简要描述:NTE-3500Thermal Evaporator热蒸发系统:提供NTE-4000和NTE-3000型号的PC计算机控制的热蒸发系统,可沉积有机物和金属。设备具有小占地面积、干净、均匀、可控及可重复的工艺过程、低价格, 高性能以及高能力的特点。可以在设定的RMS电流下,或者在闭环的配置下操作,并且在这种情况下沉积速度的变化被用于调节RMS电流以维持恒定的沉积速度。
产品型号:
所属分类:热蒸发镀膜热蒸发镀膜
更新时间:2017-03-03
厂商性质:生产厂家
详情介绍
NTE-3500Thermal Evaporator热蒸发系统
NTE-3500Thermal Evaporator热蒸发系统概述:
提供NTE-4000和NTE-3000型号的PC计算机控制的热蒸发系统,可沉积有机物和金属。设备具有小占地面积、干净、均匀、可控及可重复的工艺过程、低价格, 高性能以及高能力的特点。可以在设定的RMS电流下,或者在闭环的配置下操作,并且在这种情况下沉积速度的变化被用于调节RMS电流以维持恒定的沉积速度。
产品特点:
- zui大可支持7"的方片或200mm的晶圆片
- 沉积速度可控
- 旋转的样品台
- 双坩埚或舟
- 2KVA SRC控制电源
- 晶振式膜厚监测仪
- 通过LabView软件实现PC计算机控制
产品型号:
- NTE-4000:基于PC计算机全自动控制的独立系统
- NTE-3500:基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立系统
- NTE-3000:基于PC计算机全自动控制的双蒸发源台式系统
- NTE-1000:计算机控制的单蒸发源台式系统