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NTE-3500Thermal Evaporator热蒸发系统的详细资料

NTE-3500Thermal Evaporator热蒸发系统

NTE-3500Thermal Evaporator热蒸发系统概述:

    提供NTE-4000和NTE-3000型号的PC计算机控制的热蒸发系统,可沉积有机物和金属。设备具有小占地面积、干净、均匀、可控及可重复的工艺过程、低价格, 高性能以及高能力的特点。可以在设定的RMS电流下,或者在闭环的配置下操作,并且在这种情况下沉积速度的变化被用于调节RMS电流以维持恒定的沉积速度。

产品特点:

  • zui大可支持7"的方片或200mm的晶圆片
  • 沉积速度可控
  • 旋转的样品台
  • 双坩埚或舟
  • 2KVA SRC控制电源
  • 晶振式膜厚监测仪
  • 通过LabView软件实现PC计算机控制

产品型号:

  • NTE-4000:基于PC计算机全自动控制的独立系统
  • NTE-3500:基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立系统
  • NTE-3000:基于PC计算机全自动控制的双蒸发源台式系统
  • NTE-1000:计算机控制的单蒸发源台式系统

 

德国韦氏纳米系统(香港)有限公司主要供应等离子清洗机,基本型等离子清洗机,扩展型等离子清洗机,高功率等离子清洗机等产品。

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