NTE-3500Thermal Evaporator热蒸发系统的详细资料

NTE-3500Thermal Evaporator热蒸发系统

NTE-3500Thermal Evaporator热蒸发系统概述：

    提供NTE-4000和NTE-3000型号的PC计算机控制的热蒸发系统，可沉积有机物和金属。设备具有小占地面积、干净、均匀、可控及可重复的工艺过程、低价格, 高性能以及高能力的特点。可以在设定的RMS电流下，或者在闭环的配置下操作，并且在这种情况下沉积速度的变化被用于调节RMS电流以维持恒定的沉积速度。

产品特点：

• zui大可支持7"的方片或200mm的晶圆片
• 沉积速度可控
• 旋转的样品台
• 双坩埚或舟
• 2KVA SRC控制电源
• 晶振式膜厚监测仪
• 通过LabView软件实现PC计算机控制

产品型号：

• NTE-4000：基于PC计算机全自动控制的独立系统
• NTE-3500：基于PC计算机全自动控制的紧凑型独立系统
• NTE-3000：基于PC计算机全自动控制的双蒸发源台式系统
• NTE-1000：计算机控制的单蒸发源台式系统