液相扩散技术（LDT）提供了各种 基材和表面材料的干燥性能性能增强。这种专有的干燥工艺及其它的系统控制生成超纯IPA气雾剂层，在静止的基板移动扩散去除水分，不留水印。Megasonic IPA dryer具有强大的工艺灵活性，可用于干燥高纵横比/深沟槽地形、半间距晶片间距，以及其他多种应用。