椭偏仪是一种利用偏振态的变化 后光束探测样品反应技术。不像反射仪，参数（PSI和Del）是在非正常的入射角得到。改变入射角。可以得到更多的数据集，这将有助于精炼模型，减少不确定性和提高用户的数据信心。因此，可变角度比固定角度的系统具有更强大的功能 。目前有两种方法改变入射角，手动或自动模式。

在硅片等基板上附膜时，由于基板和薄膜的物理定数有异，产生应力，进而引起基板变形。由涂抹均匀的薄膜引起的变形的表现为基板的翘曲，而薄膜应力测量装置FLX系列可从这个翘曲（曲率半径）的变化量测量其应力。

薄膜反射仪是一款相对较低成本和操作简单的工具。基于阵列的探测器系统保证快速测量，可升级到MSP（显微分光光度计）系统，SRM映射系统，多通道系统，大点的·直接测量图案或功能结构。

光学接触角测量仪可根据客户的需求，针对不同的工作测试环境，提供相应的解决方案，如有技术请咨询德国韦氏纳米系统