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SR系列薄膜反射仪的详细资料

光谱反射仪(SR)系列是一款相对较低成本和操作简单的工具。

 

SR 光谱反射仪系列特征:                                                                    

  • 简单易操作                        

  • zui佳系统性能基于先进的光学设计            

  • 基于阵列的探测器系统保证快速测量            

  • 测量薄膜厚度和折射率可达5层            

  • 允许在毫秒内获得反射、透射和吸收光谱            

  • 可用于实时或在线厚度,折射率的监测            

  • 系统具有全面的光学常数数据库           

  • 先进的TFprobe软件允许用户使用NK表、分散或有效介质近似(EMA)每个单独的膜。            

  • 可升级到MSP(显微分光光度计)系统,SRM映射系统,多通道系统,大点的·直接测量图案或功能结构 

 

  • 适用于多种不同厚度的基材            

  • 各种附件可用于特殊配置,如运行曲线测量曲面            

  • 2D和3D输出图形和用户友好的数据管理接口

 

光谱反射仪型号:

 

SR100              SR300                          SR500

 

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