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SE系列椭偏仪的详细资料

椭偏仪是一种利用偏振态的变化 后光束探测样品反应技术。不像反射仪,椭偏仪参数(PSI和Del)是在非正常的入射角得到。改变入射角。可以得到更多的数据集,这将有助于精炼模型,减少不确定性和提高用户的数据信心。因此,可变角度比固定角度的系统具有更强大的功能 。目前有两种方法改变入射角,手动或自动模式。

Ansgtrom Sun公司设计角度调整模型,通过5度间隔后精确预置槽移动手臂手动调节角度和电动精密测角0.01度分辨率两种模型。此外,测角垂直布局设计,样品可以水平放置,这是更安全的处理样品时。可靠的和足够的原始数据集,更多膜的性能参数,如薄膜或涂层 厚度,光学常数(折射率n,消光系数k指数)、接口、孔隙度甚至成分可以通过建模。在这个意义上,先进的软件是一个必须为高性能光谱(SE)工具。我们开发了TFprobe 3 x版软件的系统设置。仿真,测量,分析,数据管理和2D / 3D图形演示的一体机。  此外,SE200工具覆盖了很宽的波长范围内,从深紫外线(DUV)在可见光到近红外(250~1100nm),标准配置。DUV范围适合衡量超薄膜,如纳米厚度范围。一个例子是在硅晶片上的原生氧化层,这是典型的2nm厚的*。深紫外光谱也是必不可少的,用户需要测量多种材料的带隙。

 SE系列型号:

Spectroscopic Ellipsometer SE200BA-M300

Spectroscopic Ellipsometer SE200BA-MSP

Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-M300

Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-M450

Spectroscopic Ellipsometer SE200BM-Solar

Spectroscopic Ellipsometer SE300BM

 Spectroscopic Ellipsometer SE500BA

 

 

 

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