德国韦氏纳米系统(香港)有限公司

您当前的位置:>> 首页 >>产品中心 >>薄膜测量系统 >>薄膜应力测量系统 >>Toho FLX-2320-S薄膜应力测量系统
产品目录

产品搜索:
请在下列输入框内输入您要查找的产品名称。

产品中心
打印 字体缩放

Toho FLX-2320-S薄膜应力测量系统的详细资料

薄膜应力测量系统

在硅片等基板上附膜时,由于基板和薄膜的物理定数有异,产生应力,进而引起基板变形。由涂抹均匀的薄膜引起的变形的表现为基板的翘曲,而薄膜应力测量装置FLX系列可从这个翘曲(曲率半径)的变化量测量其应力。

技术参数:

Toho FLX-2320-S薄膜应力测量系统精确测量多种衬底材料、金属和电介质等薄膜应力。



主要特点:

       ◆双光源扫描(可见光激光源及不可见光激光源),系统可自动选择*匹配之激光源; 
       ◆系统内置升温、降温模拟系统,便于量测不同温度下薄膜的应力,温度调节范围为-65℃至500℃; 
       ◆自带常用材料的弹性系数数据库,并可根据客户需要添加新型材料相关信息至数据库,便于新材料研究; 
       ◆形象的软件分析功能,用于不同测量记录之间的比较,且测量记录可导出成Excel等格式的文档; 
       ◆具有薄膜应力3D绘图功能。

 

用户界面:

版WINDOWS OS易懂操作界面。

另搭载丰富的基板材料数据库。自动保存测量数据等方便性能。

每个用户可分别设定访问权限。使用自带软件实现简单却性能高,简单测量。

blob.png

 

blob.png                            blob.png

                3D Mapping                                      Process Program 标准测量 Recipe

blob.png                            blob.png

            Wafer形状2D显示                                              访问级别编辑界面

 

                                      数据库2轴弹性系数

blob.png                                    blob.png

    温度测量 Plot                                                           趋势图

 

德国韦氏纳米系统(香港)有限公司主要供应等离子清洗机,基本型等离子清洗机,扩展型等离子清洗机,高功率等离子清洗机等产品。

扫一扫

欢迎关注我们网站平台

联系我们

名称:德国韦氏纳米系统(香港)有限公司

电话:86-0755-23060160

邮箱:chenliu_0902@first-nano.de

传真:86-0755-23060160

邮编:

德国韦氏纳米系统(香港)有限公司 版权所有
网站地图 ICP备案号:化工仪器网 制作维护

联系人
  • 刘先生

    86-0755-23060160

在线客服