PlasmaFlo气体流量混合器

Plasmaflo气体流量混合器是可选配件

可用于任何与等离子清洗机模型结合，有利于气体混合，气体的流量和真空压力监测更精确的定量控制。

PlasmaFlo 气体流量混合器特征：

（PDC-FMG (115V); PDC-FMG-2 (230V)）

• 两种工艺气体比例混合控制流量，也可独立控制两种工艺气体的流量的双过程流量计
• 常压下zui大49mL/min 的流量
• 精度± 2%
• 热电偶真空计，数值显示（范围1 to 1999 mTorr）
• 重量：7 lbs
• 尺寸：8.5" H x 10" W x 8" D

* zui大流量随工艺气体和调节压力变化。流量计可用于常见的工艺气体（空气，氩气，氮气，氧气）。

气体流量混合器其他工艺气体请咨询 German First-Nano System （HK）Limited

参考客户：

       兰州大学  郑州大学 上海交通大学 上海复旦大学 合肥工业大学 成都电子科技大学 北京大学  清华大学医工所  兰州化物所 中科院纳米所 等等

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