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PDC- FMGPlasmaFlo气体流量混合器的详细资料

 

 

Plasmaflo气体流量混合器是可选配件

可用于任何与等离子清洗机模型结合,有利于气体混合,气体的流量和真空压力监测更精确的定量控制。

 

 

 

PlasmaFlo 气体流量混合器特征:

PDC-FMG (115V); PDC-FMG-2 (230V))

  • 两种工艺气体比例混合控制流量,也可独立控制两种工艺气体的流量的双过程流量计
  • 常压下zui大49mL/min 的流量
  • 精度± 2%
  • 热电偶真空计,数值显示(范围1 to 1999 mTorr)
  • 重量:7 lbs
  • 尺寸:8.5" H x 10" W x 8" D

* zui大流量随工艺气体和调节压力变化。流量计可用于常见的工艺气体(空气,氩气,氮气,氧气)。

气体流量混合器其他工艺气体请咨询 German First-Nano System (HK)Limited

 

 

参考客户:

       兰州大学  郑州大学 上海交通大学 上海复旦大学 合肥工业大学 成都电子科技大学 北京大学  清华大学医工所  兰州化物所 中科院纳米所 等等

我公司专业销售Harrick Plasma产品,并提供Harrick Plasma产品的售前售后服务,如您对Harrick Plasma产品感兴趣,欢迎前来咨询!German First-Nano System (HK)Limited

 

 

 

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