Harrick高功率扩展型等离子清洗机

Harrick Plasma 高功率扩展型等离子清洗机

 与扩展型一样具有双倍的清洗速率，高功率扩展型等离子清洗机是一款多功能的工具，适用于刻蚀有机薄膜（10--100nm）以及表面活化改性。

Harrick PDC-HP高功率扩展型等离子清洗机

PDC-001-HP (115V); PDC-002-HP (230V)

主要特点：

• 紧凑台式设备、没有RF放射、符合CE安全标准。
• 功率为低、中、高三档可调。
• 低档功率相当于PDC-2 扩展型等离子清洗机的高档功率设置
• 清洗腔：长6.5英寸，直径6英寸的耐热玻璃腔体 , 腔盖可拆卸
• 带有视窗的铰链门
• 自动风扇冷却
• 集成真空泵开关
• 1/8NPT针孔阀控制气流及腔体压力；
• 整机尺寸：11英寸H × 18英寸W × 9英寸D；
• 重量：37 lbs；
• 选配件

1. 石英等离子清洗腔；
2. 气体流量混合器；
3. 真空泵；

参考客户：

       兰州大学  郑州大学 上海交通大学 上海复旦大学 合肥工业大学 成都电子科技大学 北京大学  清华大学医工所  兰州化物所 中科院纳米所 等等

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