该款
匀胶旋涂仪价格实惠,操作简单,结构小巧紧凑,占地空间小,为实验室提供了理想的解决方案。该款匀胶旋涂仪采用创新设计的托盘,无需真空泵或充氮气,就能达到很好的旋涂效果;内置调整水平装置,较大限度的保证旋涂均匀;可对大小不同规格的基片进行旋涂。匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至4英寸圆晶尺寸底物,使用工业级直流马达和单片机控制,文本显示器人机界面。匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱内操作。采用全阳极氧化铝面板外壳,PP材料内腔,经久耐用。
匀胶旋涂仪产品特点:
*体积小巧:可在手套箱和通风厨内使用,基座面积仅为22.5 x 17 cm。
*易安装:开机即用(无需真空泵、充氮气)。
*智能程序化控制:旋转速度从120到6000 rpm可编程,可对不同基片进行旋涂(从缓慢干燥结晶到超薄膜)。此外,内置的控制系统有10个独立的用户配置文件-每个配置文件至多可以节省10个程序,至多可达50个步骤。
*旋涂质量好:内置的水平仪和可调节支脚可确保平面旋转轴,无真空吸盘可防止在薄基材上发生翘曲,这两个因素带来了旋涂效果。
*低成本、低维修率:使用真空的旋涂系统容易损坏,修理程序复杂。 而该款需要移动部件很少,无需真空,并且质保1年,节省很多保养维护费用。
*耐酸碱防腐蚀的防护材质:坚固的不锈钢外壳,钢化玻璃盖和耐酸碱防腐蚀的衬垫和托盘,在各种苛刻条件下仍能保证设备正常运行。
*安全:24 V直流电源供电,不使用高电压或电源。 防止溶剂溅出、程序篡改,采用智能程序控制自动联锁,保证设备运行安全。
匀胶旋涂仪主要用于液体,胶体在材料表面薄膜的形成,适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工艺。可在科研,教育,生产中应用。