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匀胶旋涂机的使用有利于提高涂胶工作的效率

2021-07-26

  匀胶旋涂机设备,包括弧形板,储胶区,导流板,支撑柱和固定板,弧形板的弧度与使用的上胶辊外壁相同,弧形板的一侧设置有储胶区,与其对应的另一侧设置有导流区,弧形板顶部中心设置有两个相同的支撑柱,任意支撑柱顶部设置有螺母,任意支撑柱和螺母之间设置有固定板。任意支撑柱外壁有螺旋纹路,任意支撑柱和螺母螺旋连接。匀胶旋涂仪设备有益之处在于:能够将胶液部匀,防止多余的胶液溢出,方便清洁,延长使用寿命,提高涂胶机工作效率。
  匀胶旋涂机按自动化程度可分为:
  a)自动匀胶设备;b)半自动匀胶设备。
  2按有无烘干方式分为:
  a)带烘干装置的匀胶设备;b)不带烘干装置的匀胶设备。
  3按加工基片几何形状可分为:
  a)圆片匀胶设备;b)方片匀胶设备。
  匀胶旋涂机使用注意事项:
  1.使用前气路检查;使用前主要检查设备与真空泵和氮气瓶的接口是否漏气;
  2.遵守启动顺序;实验时,依次打开设备电源开关,氮气/干燥气体瓶阀门,真空开关,结束时,先关真空,再关氮气/干燥气体瓶阀门;
  3.氮气/干燥气体的压力控制不宜过大;建议氮气瓶气压从0.35MPa起缓慢上调,直至设备控制面板上的CDA停止闪烁即停止调整;
  4.严防超载;严禁放置超出设备限定范围的过大过重材料,否则将会损坏设备的旋控精度;
  6.绿色环保实验;对于废液废气的排放和处置,请遵守试剂使用的相关环保说明;
  7.保持设备清洁;实验结束后,请拭去设备内腔残留物,并清空废液接收罐,使用原片遮住Chuck,将设备用塑料封套盖好以避污染;
  8.真空泵不宜长时间无负载运行;实验期间设备闲置时,为了保护好泵的工作性能,请关闭真室泵,建议泵的连续作业不超过1小时。

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