匀胶旋涂机的使用有利于提高涂胶工作的效率

　　匀胶旋涂机设备，包括弧形板，储胶区，导流板，支撑柱和固定板，弧形板的弧度与使用的上胶辊外壁相同，弧形板的一侧设置有储胶区，与其对应的另一侧设置有导流区，弧形板顶部中心设置有两个相同的支撑柱，任意支撑柱顶部设置有螺母，任意支撑柱和螺母之间设置有固定板。任意支撑柱外壁有螺旋纹路，任意支撑柱和螺母螺旋连接。匀胶旋涂仪设备有益之处在于：能够将胶液部匀，防止多余的胶液溢出，方便清洁，延长使用寿命，提高涂胶机工作效率。

　　匀胶旋涂机按自动化程度可分为：

　　a）自动匀胶设备；b）半自动匀胶设备。

　　2按有无烘干方式分为：

　　a）带烘干装置的匀胶设备；b）不带烘干装置的匀胶设备。

　　3按加工基片几何形状可分为：

　　a）圆片匀胶设备；b）方片匀胶设备。

　　匀胶旋涂机使用注意事项：

　　1.使用前气路检查；使用前主要检查设备与真空泵和氮气瓶的接口是否漏气；

　　2.遵守启动顺序；实验时，依次打开设备电源开关，氮气/干燥气体瓶阀门，真空开关，结束时，先关真空，再关氮气/干燥气体瓶阀门；

　　3.氮气/干燥气体的压力控制不宜过大；建议氮气瓶气压从0.35MPa起缓慢上调，直至设备控制面板上的CDA停止闪烁即停止调整；

　　4.严防超载；严禁放置超出设备限定范围的过大过重材料，否则将会损坏设备的旋控精度；

　　6.绿色环保实验；对于废液废气的排放和处置，请遵守试剂使用的相关环保说明；

　　7.保持设备清洁；实验结束后，请拭去设备内腔残留物，并清空废液接收罐，使用原片遮住Chuck，将设备用塑料封套盖好以避污染；

　　8.真空泵不宜长时间无负载运行；实验期间设备闲置时，为了保护好泵的工作性能，请关闭真室泵，建议泵的连续作业不超过1小时。