德国韦氏纳米系统(香港)有限公司

您当前的位置:>> 首页 >>新闻资讯
产品目录

产品搜索:
请在下列输入框内输入您要查找的产品名称。

新闻资讯
打印 字体缩放

匀胶旋涂仪多重安全保护

2020-07-13

   匀胶旋涂仪的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,甩胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。其适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆。

  匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用,可多步程控操作,尺寸小巧,易于放入手套箱内操作。EZ4采用全阳极氧化铝面板外壳,PP材料内腔,经久耐用。匀胶机设计标准为结构紧凑、简单易用,程控操作,且能够升级自动点胶功能,尺寸上可从通用的手套箱过渡舱内进出,具有优异的性价比。亦可提供分体式设计,进行嵌入式安装,与手套箱进行配合。
  匀胶旋涂仪产品特点:
  *采用闭环控制伺服电机,数字式增速信号反馈,速匀准确,寿命长,保证匀胶均匀。
  *5寸全彩触摸屏,智能程序化可编程操控显示,标配10个匀胶梯度阶段(速度和时间梯度设置),可选配10个可编程程序,每个程序下可设置10个匀胶梯度阶段,多100个阶段。
  *内置水平校准装置,较大限度的保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。
  *多重安全保护
  电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证安全;
  盖子自锁功能,防止飞片盖弹开伤人;
  双重安全上盖,聚四氟嵌镶钢化玻璃,避免单一玻璃或者亚克力上盖飞片伤人,大限度保证实验人员安全。
  *一机两用,根据不同样品可选真空吸盘和非真空卡盘两种旋涂模式。
  *不锈钢喷塑涂层旋涂壳体,PTFE旋涂腔体,聚丙烯(NPP-H)旋涂托盘,PTFE嵌镶钢化玻璃上盖,耐酸碱防腐蚀,保证仪器在苛刻条件下仍能正常运行。
  *适用硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP 等多种材料。
  匀胶旋涂仪适用于半导体工艺,制版及表面涂覆等工艺,可在科研、教育等单位作科研、教学之用,其总体设计由汶颢股份独立开发完成,是具有自主 知识产权的高新技术产品。 匀胶机快速启动和稳定的转速,能够保证胶厚度的一致性和均匀性。

关闭>>

德国韦氏纳米系统(香港)有限公司(www.first-nano.com)主要供应等离子清洗机,基本型等离子清洗机,扩展型等离子清洗机,高功率等离子清洗机

扫一扫

欢迎关注我们网站平台

联系我们

名称:德国韦氏纳米系统(香港)有限公司

电话: 86-21-59250080

邮箱:chenliu_0902@163.com

传真: 86-21-59250080

邮编:

德国韦氏纳米系统(香港)有限公司(www.first-nano.com)主要供应等离子清洗机,基本型等离子清洗机,扩展型等离子清洗机,高功率等离子清洗机等产品。
网站地图 ICP备案号:化工仪器网 制作维护

联系人
  • 刘先生

    86-21-59250080

在线客服

化工仪器网

推荐收藏该企业网站