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等离子清洗机是利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果

2021-07-23

  等离子清洗机也叫等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、涂覆、光刻胶灰化等目的。大部分人可能会感觉很陌生。事实上,等通过对样品表面进行改性(亲水性),同时除掉表面有机物,使多种材料之间能够进行贴合、涂覆、镀膜等工艺操作。从研究开发到工艺生产使用,从表面微细加工到表面处理改质效果都非常好,应用广泛。
  等离子清洗机应用介绍:
  ①表面清洗
  在晶圆、玻璃等产品的表面Particle去除的工艺中,通常都是采用Ar等离子体对表面Particle进行轰击,以达到Particle被打散、松动(与基材表面脱离)的效果,再配合超声波清洗或离心清洗等工艺,将表面的Particle进行去除。特别是在在半导体封装工艺中,完成打线工艺后为防止导线氧化,都是采用氩等离子体或氩氢等离子体进行表面清洗。
  ②表面粗化
  等离子清洗机的表面粗化又称表面刻蚀,其目的是提升材料表面的粗糙度,以增加粘接、印刷、焊接等工艺结合力,经氩等离子清洗机处理后的表面张力会明显提升。活性气体所产生的等离子体也可以增加表面的粗糙度,但氩气电离后产生的粒子相对较重,氩离子在电场的作用下的动能会明显高于活性气体,所以其粗化效果会更加明显,在无机物基材表面粗化工艺中应用广泛。如玻璃基材表面处理、金属基材表面处理等。
  ③活性气体辅助
  在等离子清洗机的活化和清洗工艺中,工艺气体经常被混合使用,以达到更佳的效果。
  因为氩气的分子比较大,电离后产生的粒子比较后,在进行表面清洗和活化时通常会配合活性气体混合使用,常见的就是氩气和氧气的混合。氧气为高活性气体,可有效的对有机污染物或有机基材表面进行化学分解,但其粒子相对较小,断键和轰击能力有限,如加上一定比例的氩气,那么所产生的等离子体对有机污染物或有机基材表面的断键和分解能力就会更强,加快清洗和活化的效率。

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