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匀胶旋涂仪主要有三种规格的标准尺度

2019-07-26

   匀胶旋涂仪工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,匀胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。可以设定多达20个程序段来存储不同材料的制备过程,每个程序段都能设定51步速度改变,当前参数具断电保护功能。

  匀胶旋涂仪具有速度精度高、转速稳定、旋转加速度可控、匀胶过程多段程序控制等特点。主要用于微电子、半导体、太阳能电池、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺,例如各类纳米薄膜材料、光阻涂层、生物功能涂层的制备。
  匀胶旋涂仪产品特点介绍:
  ★可更换阳极氧化铝加热转盘,标准尺寸Φ10,Φ25,Φ50三种规格可选;
  ★HDPE高分子内腔,热幅射式盖子,钣金烤漆外壳,结构紧凑,美观大方;
  ★200W发热部件,加热速度快,表面热均匀性高,PID高精度控温系统;
  ★采用间接式传动方式,可靠的隔热设计,避免加热部件对电机性能影响;
  ★7寸全彩触屏操作,自带触屏笔,图形化人机界面,简单易用;
  ★带一路自动点胶端口,可升级自动点胶功能,进一步提高实验重复性;
  ★自带排废功能,便于废胶的收集处理;
  ★可嵌入式设计安装,降低高度放置在手套箱内操作。
  匀胶旋涂仪应用:在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
  匀胶旋涂仪能够对转盘进行控温,基片接触式加热,以实现在不同温度下的控温匀胶处理操作。设备采用触屏式操作,钣金烤漆外壳。采用发明的旋转热盘控温结构系统,控温精度高、重复性好,技术先进,设备性能优良。匀胶旋涂仪可以进行边加热边旋转的匀胶操作,对提高胶体流动性,加速溶剂挥发,匀胶后直接烤胶等操作提供了便利的解决方案。

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