匀胶旋涂仪工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上，匀胶机常用于各种溶胶凝胶（Sol-Gel）实验中的薄膜制作，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。可以设定多达20个程序段来存储不同材料的制备过程，每个程序段都能设定51步速度改变，当前参数具断电保护功能。
匀胶旋涂仪具有速度精度高、转速稳定、旋转加速度可控、匀胶过程多段程序控制等特点。主要用于微电子、半导体、太阳能电池、新能源、生物材料、光学器件等领域的表面涂膜工艺，例如各类纳米薄膜材料、光阻涂层、生物功能涂层的制备。
匀胶旋涂仪产品特点介绍：
★可更换阳极氧化铝加热转盘，标准尺寸Φ10，Φ25，Φ50三种规格可选；
★HDPE高分子内腔，热幅射式盖子，钣金烤漆外壳，结构紧凑，美观大方；
★200W发热部件，加热速度快，表面热均匀性高，PID高精度控温系统；
★采用间接式传动方式，可靠的隔热设计，避免加热部件对电机性能影响；
★7寸全彩触屏操作，自带触屏笔，图形化人机界面，简单易用；
★带一路自动点胶端口，可升级自动点胶功能，进一步提高实验重复性；
★自带排废功能，便于废胶的收集处理；
★可嵌入式设计安装，降低高度放置在手套箱内操作。
匀胶旋涂仪应用：在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。
匀胶旋涂仪能够对转盘进行控温，基片接触式加热，以实现在不同温度下的控温匀胶处理操作。设备采用触屏式操作，钣金烤漆外壳。采用发明的旋转热盘控温结构系统，控温精度高、重复性好，技术先进，设备性能优良。匀胶旋涂仪可以进行边加热边旋转的匀胶操作，对提高胶体流动性，加速溶剂挥发，匀胶后直接烤胶等操作提供了便利的解决方案。
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