将热重分析质谱仪与质谱仪联用可以检测到非常低含量的杂质，这一手段越来越受欢迎。通过热重加热样品，样品会因挥发物的存在或者燃烧分解出气体，这些气体被传输到质谱仪中，加以识别。由于质谱可以检测材料非常低的含量，TG-MS联用成为质量控制、产品安全和产品开发一个强有力的手段。
　　热重分析质谱仪工作原理
　　热重分析质谱仪主要由天平、炉子、程序控温系统、记录系统等几个部分构成。
　　常用的测量的原理有两种，即变位法和零位法。所谓变位法，是根据天平梁倾斜度与质量变化成比例的关系，用差动变压器等检知倾斜度，并自动记录。零位法是采用差动变压器法、光学法测定天平梁的倾斜度，然后去调整安装在天平系统和磁场中线圈的电流，使线圈转动恢复天平梁的倾斜，即所谓零位法。由于线圈转动所施加的力与质量变化成比例，这个力又与线圈中的电流成比例，因此只需测量并记录电流的变化，便可得到质量变化的曲线。
　　热重分析质谱仪技术参数：
　　1.高灵敏性
　　重量准确度为0.1 ug，高灵敏度的微天平。
　　2.温度范围
　　室温到1000℃/1500℃
　　3.加热速率
　　0.1~300℃/分钟：大范围可调的加热速率，可满足多种条件下的实验要求。
　　4.冷却方式
　　采用水冷：降温快速，使用安全，保护加热炉周边的电子元件。
　　5.可与FT-IR（红外分析仪）和 Quadruple-mass（质谱）联用
　　可与FT-IR/Quadruple-mass联用，联用时分辨率*；加热炉的体积小，气氛转换快；不换加热炉也能做EGA实验。
　　6.4路气体转换开关
　　可转换4种气体，满足多种条件下的实验。
　　7.TGA S-1000
　　在的温度调制下准确地测量出样品的重量变化
　　8.系统
　　多范围的升温及降温速率的控制。
　　9．结果及分析软件
　　测量同步储存结果，可随时把结果调出来进行分析。
　　热重分析质谱仪是将热重分析耦合到Hiden质谱仪上的一整套接口系统。能够充分利用进样毛细管快速响应和低死体积的优点，配合上受欢迎的TGA设备。