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选购匀胶旋涂机需要注意的三个要素

2017-11-21

   匀胶旋涂机的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,甩胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。

  匀胶旋涂机机身采用全工程塑料制作,您可以根据自身需求选择通用的α相NPP-H材质机型或高密度PTFE材质机型。
  匀胶旋涂机产品主要特点:
  1、开关电流调速,稳定性能更好,转速调节以数字显示为准。
  2、转速在500~8000转/分范围内非常稳定。
  3、匀胶旋涂机采用双转速。在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动转换到高速运转。两种转速及相应的时间分别可调,时间分别控制在1~18秒和3秒~1分钟。
  4、具有定时功能。
  5、匀胶旋涂机测速采用光电的办法,产生光电脉冲,由晶体分频测速准确性高。
  6、"吸片"采用电磁阀控制气路,一个气泵可同时带几台匀胶机工作,适合流水线的工艺,提高了效率。
  7、在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音低。
  选购匀胶旋涂机需要注意的三个要素:
  1、旋转速度
  转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速如果误差很大,对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。国产的某些匀胶机只能提供转速范围,并不能标定实时的转速。进口的匀胶旋涂机虽然大部分能标定转速,但是大部分转速精度没有国际标准认定。建议购买转速控制方面有国际认定标准的,比如:美国NIST标准等。
  2、真空吸附系统的构造
  真空泵一定要无油的,压力标定准确,国内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况,还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成完全堵塞。用过国产匀胶旋涂机的客户常常会关心怎么清洗的问题,这一点许多国外的匀胶机做得不错,他们有通过联动机制,如果真空吸附力不够的时候,不会开始旋转。
  3、材质的选择
  对于半导体化工行业的应用来说,材质的选择尤为关键,大部分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质,因为这种材质的成本很低,不锈钢的对于各类化工胶液的抗腐蚀性不太好,塑料对于较高温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话,将会导致旋涂时,时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。例如美国Laurell的WS-400B,500B,650等型号都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯特氟隆, PTFE材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。
  匀胶旋涂机主要用于液体,胶体在材料表面薄膜的形成,适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工艺。匀胶旋涂机可在科研,教育,生产中应用。适用于清洗、甩干、涂胶、显影和刻蚀等多种工艺。

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