选购匀胶旋涂仪需要注意的三要素

　　从其原理来说，我们可以看出选购匀胶旋涂仪需要注意的三个要素：

　　1、旋转速度

　　转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速如果误差很大，对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。国产的某些匀胶机只能提供转速范围，并不能标定实时的转速。进口的匀胶机虽然大部分能标定转速，但是大部分转速精度没有标准认定。建议购买转速控制方面有认定标准的，像美国Laurell的产品，通过了NIST标准认定。

　　2、真空吸附系统的构造

　　真空泵一定要无油的，压力标定准确，国内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况，还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成*堵塞。用过国产匀胶机的客户常常会关心怎么清洗的问题，这一点许多国外的匀胶机做得不错，他们有通过联动机制，如果真空吸附力不够的时候，不会开始旋转。这点WS-400B-6NPP这种型号的产品做得比较好。

　　3、材质的选择

　　对于半导体化工行业的应用来说，材质的选择尤为关键，大部分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质，因为这种材质的成本很低，不锈钢的对于各类化工胶液的抗腐蚀性不太好，塑料对于较高温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话，将会导致旋涂时，时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。例如美国Laurell的WS-400B，500B，650等型号都是采用天然聚丙烯（NPP）或者聚四氟乙烯(特氟隆, PTFE)材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。

　　匀胶旋涂仪的主要用于液体，胶体在材料表面薄膜的形成，适用于硅片，晶片，玻璃，陶瓷等制版表面涂覆工艺。可在科研，教育，生产中应用。