高功率等离子清洗机的清洗原理是根据电离气体将来自清洗源被固定在表面的化合物转变为无害的气体。基于高频电离气体产生等离子体的设备,用于清洗表面污染物以及去除表面化学物质。这种清洗方法很适用于那些高负荷、密集成分的部件和微型装置元件。可以采取干燥清洗,采用氧气作为清洗气体,并形成大约0.5~1的等离子弧,在空间中形成的氧气离子使已经吸附在材料表面的污垢加热、膨胀并燃烧。这样,污垢就被转化为气态氧化产物并被冲入大气中。此过程温度升至数百℃,并同时接近平衡电子、阴离子、阳离子等离子体间的化学反应。清洗完成后实现净化表面,并还原其基本性能。
高功率等离子清洗机特点:
1.速度快:与其他传统清洁方式相比,误差小,时间短,而且可清洗复杂结构部分内侧的污垢;
2.效果好:手术器械和半导体制造业对表面微观结构和化学纯洁度的要求高,在传统清洗方式下难以达到要求,然而等离子清洗可以更好地满足要求;
3.安全性高:使用使不需要涂抹化学清洁剂,避免了其他清洗方式清洁剂溢出所带来的风险。
高功率等离子清洗机广泛应用于精密仪器、高负荷、密集元件的清洗、半导体产品生产过程中,以及医学器械消毒清洗、车辆发动机清洗、核聚变研究方面等。通过顶部入口将待清洗器件放入等离子体中,在清洗时无需接触或刷洗待处理的部件,杜绝了划伤、佩戴和损坏等问题并保证其表面特征。清洗后,设备监测器将停止平行放电,关闭电容器并自动向放电电路注入电路支持大流量,直到排出残留物质。