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快速退火炉集巧妙的结构设计与独特的加热方式于一体

2019-11-09

   快速退火炉是集巧妙的结构设计和独特的加热方式于一体,使得体积和功率都大幅减小的同时,升降温速率却比传统退火炉提升了数倍之多。它既可以通气氛又可以抽真空,满足了很多用户对小样品快速退火的工艺要求。快速退火炉采用蓄热式燃烧系统,PLC控制炉温炉压,从材质到设计经过严格质量控制,热效率高,实现快速加热,快速完成退火热处理工艺。节能环保,微电脑程序控制整个退火工艺过程,实时自动化计算退火工艺所需的功率。

  快速退火炉采用进口红外线加热管加热,造型新颖结构合理,炉体和炉管可以自由滑动,可实现快速升降温。炉管内尺寸120MM,可以直接放下4英寸的材料。试样反应区处在一个密闭的石英腔体内,在完成生产工艺的同时,也大大降低了间接污染试样的可能性。快速退火炉用于半导体器件研发及生产等领域,可满足离子注入后的快速退火、欧姆接触快速合金、硅化物合金退火,氧化物生长以及铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积等快速热处理工艺场合。
  快速退火炉保养注意事项:
  1、如果快速退火炉使用或者是在长期不使用之后再次使用,那么就一定要现在120摄氏度的温度下烘烤一个小时,然后再在300摄氏度的温度下烘烤两个小时才能使用,这样主要是为了防止炉膛开裂。炉温要尽量的不要超过额定的温度,防止损坏加热元件以及炉衬。一定不能向炉膛里面直接灌注各种溶解金属以及液体,要保持炉内的清洁。
  2、如果炉膛采用的是石英管的话,那么当温度高于1000摄氏度的时候,石英管的高温部分会出现不透明的情况,这种现象叫做失透,是连熔石英管的一个缺陷,属于正常的现象。
  3、在使用冷炉的时候,因为炉膛是冷的,所以需要大量的进行吸热,这样低温段的升温速度就不能过快,每个温度段的升温速率差别也不能太大,在设置升温速率的时候,要充分的考虑烧结材料的物理化学性质,防止出现喷料情况,进而污染炉管。
  4、要定期的检查温度控制系统的电器连接部分的接触是不是完好的,要特别注意加热元件的各个连接点的连接是不是紧固。
  5、快速退火炉在使用一段时间之后,如果真空度降低的话,就要分别更换不锈钢法兰盘之间的耐温硅胶圈,或者是重新安装不锈钢法兰盘,提高系统的整体真空度。
  快速退火炉操作便捷,电热元件采用红外灯管,升温速度快,节省时间,滑动法兰使装卸样品过程简化,方便操作,可快速得到实验结果,取消了反复的法兰安装过程,减少了炉管因安装造成的损坏。

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