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NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机
NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机:先进的全自动溅射系统带有水冷或者加热(Z高可加热到700度)功能的8“旋转样平台,Z大可支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过使用RF射频开关,RF射频或DC直流电源可以切换到多磁控管模式。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。
NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机的详细资料
NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机
NSC-4000Sputter磁控溅射镀膜机产品特点:
选配项:
应用:
型号:
(以下为双系统型号)
德国韦氏纳米系统(香港)有限公司主要供应等离子清洗机,基本型等离子清洗机,扩展型等离子清洗机,高功率等离子清洗机等产品。
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