NOC-4000离子束刻蚀溅射镀膜一体机的详细资料

光学元件原子级清洗镀膜系统

NOC-4000离子束刻蚀溅射镀膜一体机概述：NANO-MASTER 离子束清洗抛光-磁控溅射镀膜系统提供先进的技术，在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光，然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆，整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用，同时具备各自的自动上/下载片功能。

NOC-4000离子束刻蚀溅射镀膜一体机应用

• Optical Coatings 光学涂层
• Sputtering  溅射
• IBAD  IBAD离子束辅助沉积
• Ion Beam Etching Cleaning  离子束刻蚀清洗
• Ion Beam Assisted Reactive Etching 离子束辅助反应刻蚀
• Infrared Coatings  红外涂层
• Surface Treatment   表面处理

产品特点:

• RF Biasable Platen  RF射频偏压样品台
• Thickness Monitor   膜厚监测仪
• 5x10-7 Torr Base Pressure  极限真空5x10-7Torr
• High Accuracy and Repeatability  高精度及高重复性
• High Quality Films  高品质膜层
• Atomic Level Clean Surfaces   原子级的洁净表面
• Atomic Cleaning and Polishing  原子级清洗和抛光
• PC Controlled with LabVIEW  通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
• Automatic Load/Unload  自动上下载片
• Automatic Transfer Between Chambers  两个腔体之间自动传送
• Recipe Driven, Password Protected 菜单驱动，4级密码访问保护
• Safety Interlocks 完整的安全联锁
• 46”D x 44”W Footprint  占地面积46”D x 44”W

选配项:

• Sputter Down/Up  向下/向上溅射
• Co-Sputtering 共溅射
• DC, RF and Pulsed Power Supplies  DC，RF以及脉冲电源
• Ion Beam Assisted Deposition 离子束辅助沉积
• E-Beam Sources 电子束源
• Plasma Sources 等离子源