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NOC-4000离子束刻蚀溅射镀膜一体机的详细资料

光学元件原子级清洗镀膜系统

NOC-4000离子束刻蚀溅射镀膜一体机概述:NANO-MASTER 离子束清洗抛光-磁控溅射镀膜系统提供先进的技术,在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光,然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆,整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用,同时具备各自的自动上/下载片功能。

NOC-4000离子束刻蚀溅射镀膜一体机应用

  • Optical Coatings 光学涂层
  • Sputtering  溅射
  • IBAD  IBAD离子束辅助沉积
  • Ion Beam Etching Cleaning  离子束刻蚀清洗
  • Ion Beam Assisted Reactive Etching 离子束辅助反应刻蚀
  • Infrared Coatings  红外涂层
  • Surface Treatment   表面处理

产品特点:

  • RF Biasable Platen  RF射频偏压样品台
  • Thickness Monitor   膜厚监测仪
  • 5x10-7 Torr Base Pressure  极限真空5x10-7Torr
  • High Accuracy and Repeatability  高精度及高重复性
  • High Quality Films  高品质膜层
  • Atomic Level Clean Surfaces   原子级的洁净表面
  • Atomic Cleaning and Polishing  原子级清洗和抛光
  • PC Controlled with LabVIEW  通过LabView软件实现PC计算机全自动控制
  • Automatic Load/Unload  自动上下载片
  • Automatic Transfer Between Chambers  两个腔体之间自动传送
  • Recipe Driven, Password Protected 菜单驱动,4级密码访问保护
  • Safety Interlocks 完整的安全联锁
  • 46”D x 44”W Footprint  占地面积46”D x 44”W

选配项:

  • Sputter Down/Up  向下/向上溅射
  • Co-Sputtering 共溅射
  • DC, RF and Pulsed Power Supplies  DCRF以及脉冲电源
  • Ion Beam Assisted Deposition 离子束辅助沉积
  • E-Beam Sources 电子束源
  • Plasma Sources 等离子源

 

德国韦氏纳米系统(香港)有限公司主要供应等离子清洗机,基本型等离子清洗机,扩展型等离子清洗机,高功率等离子清洗机等产品。

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