快速退火炉

简要描述：AS-One系统有两种型号： AS-One 100 系统或AS-One 150 系统
该快速退火炉是专门为满足大学、研究实验室和小规模生产的需求而研制的，高可靠且性价比高。

该工艺室采用贝壳式设计，可*进入底板，方便装载和卸载基板，并允许实际清洁腔体

快速数字PID温度控制器在整个温度范围内提供精确和可重复的热控制。

产品型号： AS-One systems

所属分类：快速退火炉

更新时间：2019-03-05

厂商性质：生产厂家

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详情介绍

AS-One系统有两种型号： AS-One 100 系统或AS-One 150 系统

该快速退火炉是专门为满足大学、研究实验室和小规模生产的需求而研制的，高可靠且性价比高。

该工艺室采用贝壳式设计，可*进入底板，方便装载和卸载基板，并允许实际清洁腔体

快速数字PID温度控制器在整个温度范围内提供精确和可重复的热控制。

特征：
基本尺寸：	Up to 直径100 mm (4-inch) for AS-One 100 Up to 直径150 mm (6-inch) for AS-One 150 Small substrates using susceptors
工艺腔体	运用不锈钢冷腔室壁技术
温度范围	标准配置：高达到1250°C 高温配置：高达到1450°C
温度控制	标准配置：热电偶和高温计用来测量温度快速数字PID温度控制器在可获得精确的和可重复的热控制
真空和气体	多可达5路带MFC的工艺气体，一路清洁气体
电脑控制	全PC电脑控制，每个配方多100步骤全数据记录与处理历史的人机界面设计
选项：
石墨托盘/碳化硅涂层托盘/粗真空泵和涡轮泵/快速冷却系统/其他套件
应用

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