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AS-One systems快速退火炉的详细资料

 

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AS-One系统有两种型号: AS-One 100 系统或AS-One 150 系统

快速退火炉是专门为满足大学、研究实验室和小规模生产的需求而研制的,高可靠且性价比高。

 

该工艺室采用贝壳式设计,可完全进入底板,方便装载和卸载基板,并允许实际清洁腔体

 

快速数字PID温度控制器在整个温度范围内提供精确和可重复的热控制。

 

特征
基本尺寸:

Up to 直径100 mm (4-inch) for AS-One 100 

Up to 直径150 mm (6-inch) for AS-One 150 

Small substrates using susceptors

工艺腔体运用不锈钢冷腔室壁技术
温度范围标准配置:最高达到1250°C

高温配置:最高达到1450°C

温度控制

标准配置:热电偶和高温计用来测量温度

快速数字PID温度控制器在可获得精确的和可重复的热控制

真空和气体最多可达5路带MFC的工艺气体,一路清洁气体
电脑控制

全PC电脑控制,每个配方最多100步骤

全数据记录与处理历史的人机界面设计

选项:

石墨托盘/碳化硅涂层托盘/粗真空泵和涡轮泵/快速冷却系统/其他套件

 

 

应用

 

 

我公司专业销售Annealsys产品,并提供Annealsys产品的售前售后服务,如您对Annealsys产品感兴趣,欢迎前来咨询!

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