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AS-One系统有两种型号: AS-One 100 系统或AS-One 150 系统
该快速退火炉是专门为满足大学、研究实验室和小规模生产的需求而研制的,高可靠且性价比高。
该工艺室采用贝壳式设计,可*进入底板,方便装载和卸载基板,并允许实际清洁腔体
快速数字PID温度控制器在整个温度范围内提供精确和可重复的热控制。
特征: | |
基本尺寸: | Up to 直径100 mm (4-inch) for AS-One 100 Up to 直径150 mm (6-inch) for AS-One 150 Small substrates using susceptors |
工艺腔体 | 运用不锈钢冷腔室壁技术 |
温度范围 | 标准配置:高达到1250°C 高温配置:高达到1450°C |
温度控制 | 标准配置:热电偶和高温计用来测量温度 快速数字PID温度控制器在可获得精确的和可重复的热控制 |
真空和气体 | 多可达5路带MFC的工艺气体,一路清洁气体 |
电脑控制 | 全PC电脑控制,每个配方多100步骤 全数据记录与处理历史的人机界面设计 |
选项: | |
石墨托盘/碳化硅涂层托盘/粗真空泵和涡轮泵/快速冷却系统/其他套件
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应用 |
我公司专业销售Annealsys产品,并提供Annealsys产品的售前售后服务,如您对Annealsys产品感兴趣,欢迎前来咨询!