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NDR-4000(A)进口双模式刻蚀机
NDR-4000(A)进口双模式刻蚀机:全自动上下载片,带低温晶圆片冷却和偏压样品台的深硅刻蚀系统,带8“ ICP源。系统配套500L/S抽速的涡轮分子泵,可以使得工艺压力达到几mTorr的水平。在低温刻蚀的技术下,系统可以达到硅片的高深宽比刻蚀。
NDR-4000(A)进口双模式刻蚀机的详细资料
NDR-4000(A)进口双模式刻蚀机
进口双模式刻蚀机概述:全自动上下载片,带低温晶圆片冷却和偏压样品台的深硅刻蚀系统,带8" ICP源。系统可以配套500L/S抽速的涡轮分子泵,可以使得工艺压力达到几mTorr的水平。在低温刻蚀的技术下,系统可以达到硅片的高深宽比刻蚀。
NDR-4000(A)进口双模式刻蚀机主要特点:
配置内容:
德国韦氏纳米系统(香港)有限公司主要供应等离子清洗机,基本型等离子清洗机,扩展型等离子清洗机,高功率等离子清洗机等产品。
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